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SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹

更新時間:2026-02-12      瀏覽次數:71

德國 SONOSYS® 雙噴嘴兆聲波清洗系統,專為單晶圓、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件設計。采用多頻率組合技術(1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz),每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小區域,實現高效非接觸式清洗,避免機械損傷,潔凈度可達優良制造嚴苛標準。


【產品參數】
? 模塊化兆聲波發生器
  • 電氣參數:輸出功率 70W(MLM 1+MLM 2),調節范圍 20%-100%;頻率覆蓋 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz;電源 230VAC 50-60Hz。

  • 機械參數:19 英寸機架 3/4U 設計,外形尺寸 28 HP(165×185×329mm),重量約 5.2kg。

  • 運行條件:環境溫度 10℃-40℃,濕度禁止凝結水。

? 兆聲波雙噴嘴
  • 電氣參數:高壓輸入 2×35W,適配 1/2/3/4MHz 頻率;換能器采用特殊 PZT 壓電陶瓷;3 米屏蔽高壓電纜(Φ4.5mm PTFE 材質),噴嘴與匹配盒電纜長 20cm( 50cm)。

  • 機械參數:外尺寸 74×79.8×37mm,重量約 600g;液體接口 2×1/8" NPT,最小流量 2×1.0L/min,適用溫度 20℃-60℃;噴嘴距待清洗物距離 5-20mm 可調。

【適用場景】
? 半導體行業:單晶圓表面微小顆粒、有機物殘留清洗
? 光刻工藝:掩膜版高精度去污,保障圖案轉移精度
? 顯示面板:LCD/OLED 基板潔凈度提升,優化顯示效果
? 微機電系統:MEMS 器件微小結構內部完整清潔

【訂貨信息】:

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【品牌保障】
德國 SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH 原廠出品,專注兆聲波清洗技術研發,品質可靠。支持技術咨詢與定制化方案,提供完善售后服務。



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