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INTECS鹵素燈UIH-3D 高照度晶圓檢查燈 -技術分析

更新時間：2026-03-19      瀏覽次數：23

產品概述

INTECS UIH-3D 是一款用于視覺檢查的高亮度鹵素燈光源裝置，主要應用于半導體晶圓、液晶面板、光學玻璃等表面缺陷檢測

核心技術原理

通過將高亮度光線照射在目標物體上，產生丁達爾效應（Tyndall Effect），使表面的劃痕、塵埃、異物及內部氣泡等缺陷清晰可見

主要技術規格

| 參數項                    | 規格值                  |

| ---------------        | -------------------- |

| 燈泡額定值             | 100V 650W            |

| 設計照射直徑/距離  | 距燈筒頂端270mm處，φ100mm   |

| 大亮度                | 約300,000 lux（照射直徑中心） |

| 50萬lux時照射直徑 | 約φ80mm               |

| 倍徑距離/亮度        | 560mm處約75,000 lux    |

| 亮度偏差                | 上限10%，下限20%          |

| 調光范圍                | 10:1以上               |

| 亮度燈泡壽命   | 75小時以上               |

| 半亮度燈泡壽命      | 1,800小時以上            |

| 調光方式                | SCR相位控制（50/60Hz自動切換） |

| 冷卻方式                | 風扇強制風冷               |

| 過熱保護                | 溫度超過130°C時自動關閉       |

| 冷卻保持功能         | 關機后風扇持續運轉至40°C以下     |

| 電源                      | AC100V 半變壓器式         |

| 總重量                   | 約13 kg               |

應用領域

  • 半導體制造：晶圓表面劃痕、顆粒污染檢測
  • 液晶顯示：面板內部氣泡、異物檢查
  • 光學元件：透鏡、濾光片表面質量檢測
  • 硬盤制造：盤片表面缺陷目視檢查
  • 玻璃加工：光學玻璃、掩模版潔凈度檢測

產品系列對比

| 型號         | 燈泡規格       | 亮度         | 重量     | 特點         |

| ---------- | ---------       | ------------     | ------   | ---------- |

| UIH-1C    | 15V 150W   | 約600,000 lux | 約7 kg  | 緊湊便攜型      |

| UIH-2D    | 100V 300W | -                     | -           | 中等亮度，帶過熱保護 |

| UIH-3D   | 100V 650W | 約300,000 lux | 約13 kg | 高亮度專業型 |



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