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rexxam超純水加熱單元RHDIW150A介紹

更新時間:2026-01-05      瀏覽次數:75

RHDIW150A是日本株式會社隆祥(Rexxam Co.Ltd)生產的超純水加熱單元,主要用于對超純水進行精確溫控,確保工藝過程的穩定性和產品質量

核心特點高效加熱:采用高效率石墨加熱管作為熱源,相比傳統鹵素加熱管更節能長期穩定性:電阻值長期穩定,顯著延長加熱器使用壽命材質安全:純水接觸部位采用石英和氟樹脂材質,確保水質純凈可選過濾:可搭載高精度過濾器(選配),過濾微細粒子精準控溫:溫控精度達到±1℃以內

技術規格:


| 項目              | 參數值                        |

| ----------      | -------------------------- |

| 型號              | RHDIW150A                  |

| 適用液體       | 超純水                        |

| 設定溫度范圍| 25℃~85℃                    |

| 溫控精度       | 設定溫度±1℃以內                  |

| 標準流量       | 38L/min                    |

| 壓力損失       | 0.027MPa以下                 |

| 加熱器能力    | 14.7kW(石墨加熱管)              |

| 接觸部位材質 | 石英、氟樹脂                     |

| 電源               | 3相 AC220V~480V ±10%        |

| 外形尺寸        | 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm |

| 重量               | 520kg                      |

主要應用領域

  • 半導體晶圓清洗工序
  • 液晶面板清洗工序
  • 藥液稀釋加熱等需要精確溫控的超純水工藝
該產品屬于Rexxam公司"熱源?溫濕度調控設備"產品線,專為高潔凈度要求的半導體制造環境設計。



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